Neues Verfahren soll DRAMs billiger machen

Hynix/LG Semiconductor wollen mit einer neuen Fertigungstechnik für 0,15-Mikron-DRAMs die Produktionskosten drastisch senken. Das Revolutionäre an der Technik [Codename "Blue Chip"] soll dabei gerade der Einsatz herkömmlicher Methoden für den Die-Shrink sein.

Hynix, ein Ableger von Hyundai, gab bisher allerdings nur wenige Details zur 0,15-Mikron-Technik bekannt. Es ist aber angeblich mit der "Blue Chip"-Technologie gelungen, den 0,18-Micron-Wolfram-Prozess von LG Semion mit Hyundais High-Speed-DRAM-Technologie zu verbinden.

Statt neuer aufwendiger Verfahren, die üblicherweise mit der Einführung von kleineren Strukturbreiten einhergehen, könne man dabei die vorhandenen Stepper nutzen.

Laut Hynix lässt sich so mit bestehenden 248-nm-Steppern die kritische Marke von 0,18 Mikron unterschreiten. Gleichzeitig kann die ebenfalls vorhandene Wolfram-Technologie zur Kontaktierung verwendet werden. Hynix und LG Semion haben vor zwei Jahren fusioniert.

Hynix

Umsetzung

Derzeit ist das Unternehmen dabei, die Technik in drei koreanischen Fabriken zu implementieren. Bis Ende des Jahres soll es erste SDRAMs mit 128 MBit und 256 MBit geben.

Die Produktivität steigt laut Hynix durch die höhere Ausbeute um das 1,7fache, während die Kosten für die Herstellung um 50 Prozent sinken.

Anscheinend ist "Blue Chip" damit aber noch nicht ausgereizt, ein Die-Shrink auf 0,14 Mikron soll im Jahr 2002 erfolgen.