Spektrometer für superschmale Laser
Berliner Wissenschaftler und Ingenieure haben ein neues, höchstauflösendes Spektrometer entwickelt. Mit ELIAS II [Emission Line Analyzing Spectrometer] sind sehr schmale Laser charakterisierbar.
Die geringste messbare Linienbreite liegt bei 60 Femtometern FWHM und 200 Femtometern E95 [die Breite, in der 95 Prozent der Energie enthalten sind] bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern. Die Spektrometer werden vor allem bei der spektralen Charakterisierung von Excimerlasern in der Mikrolithografie bei 248, 193 und 157 Nanometern eingesetzt.
Verwendbar sind sie auch in der Atomabsorptions-Spektroskopie, der hochauflösenden Plasmaspektroskopie und der Laserdiodenentwicklung.
LTB Lasertechnik Berlin